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非接觸厚度電阻率測試儀

非接觸厚度電阻率測試儀

更新時間:2024-11-09

簡要描述:

非接觸厚度電阻率測試儀型號:JXNRT1
測試原理
1、 原理
電阻率測試模塊是由一對共軸渦流傳感器,以及后續(xù)的處理電路組成。將半導(dǎo)體硅片置于兩個探頭的間隙中時,在電磁場的作用下,半導(dǎo)體硅片中會產(chǎn)生渦流效應(yīng),通過檢測渦流效應(yīng)的大小,可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法,不損傷材料表面,可以在大多數(shù)場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。

非接觸厚度電阻率測試儀 型號:JXNRT1 
一、測試原理 
1、 原理 
電阻率測試模塊是由一對共軸渦流傳感器,以及后續(xù)的處理電路組成。將半導(dǎo)體硅片置于兩個探頭的間隙中時,在電磁場的作用下,半導(dǎo)體硅片中會產(chǎn)生渦流效應(yīng),通過檢測渦流效應(yīng)的大小,可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法,不損傷材料表面,可以在大多數(shù)場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。 

非接觸厚度電阻率測試儀 2、厚度測試探頭原理 
厚度探頭采用的是一對共軸電容位移傳感器。電容傳感器具有重復(fù)性好,測試數(shù)值穩(wěn)定,技術(shù)成熟等優(yōu)點(diǎn),廣泛用于各種材料厚度的測試。 
  
二、范圍 
本設(shè)備為非接觸無損測量設(shè)備,測試過程中對硅片表面以及內(nèi)部不會造成損傷。特別于代替四探針法用于半導(dǎo)體硅片成品分選檢驗(yàn)。一臺儀器可以同時對厚度和電阻率兩個指標(biāo)進(jìn)行測試分選,減少了測試工序和測試時間,提高了測試效率。 
典型的客戶:科研單位、硅片生產(chǎn)廠商、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠商、光伏企業(yè)、導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)企業(yè)。 
三、儀器構(gòu)成 
1、測試主機(jī):1 臺 
2、電源線:1 根 
3、串口數(shù)據(jù)線:1 根 
4、電腦端軟件:1 套 
5、塑料定位柱:2 個 

四、儀器外觀尺寸結(jié)構(gòu)及圖片 
1、整機(jī)尺寸:340*260*180mm 
2、機(jī)箱顏色:電腦白 


3、儀器結(jié)構(gòu):本儀器采用厚度探頭和電阻率探頭前后并列安裝的方式。 
五、儀器主要指標(biāo) 
1、電氣規(guī)格 
a. 使用標(biāo)準(zhǔn)三插頭,由 220V 交流電供電,整機(jī)功耗小于 15 瓦。 
b. 本儀器測試平臺和外殼均為金屬材料,按照安全規(guī)范,請確保電源地線正確連接。 
2、測試范圍 
測試樣品要求:厚度小于 600um 的半導(dǎo)體硅片以及其他類似材料。(為客戶提供特殊定制,厚度大的測試范圍可以擴(kuò)展到 800um) 
電阻率范圍: L 檔: 0.2-5 Ω·cm 
H 檔: 5-50 Ω·cm 
注: 電阻率不在上述量程范圍內(nèi)的可以按要求調(diào)整, 調(diào)整的范圍可以在0.001-100Ω*cm。 
厚度范圍: 100-600 um (定制版可以做到 300-800um) 注:普通版本厚度大于 700um 的硅片無法放入測試區(qū)域。

產(chǎn)品名稱:化工原料水分儀 化工原料水份儀
產(chǎn)品型號:FD-C1

化工原料水分儀 化工原料水份儀   型號: FD-C1  
本水分儀是引進(jìn)*傳感器在國內(nèi)推出的高性能、數(shù)字化水分測量儀器。儀器采用高周波原理,數(shù)字顯示,傳感器與主體合為一體,設(shè)有多個檔位用來測量各類堿活性染料、化學(xué)礦物原料、有機(jī)、無機(jī)化工原料、原油、重油、染料、樹脂、洗衣粉、金屬皂、助劑、溶液、奶粉、添加劑、、煤炭、化肥、中西藥等粉狀、顆粒狀、液體狀水分。該儀器測量水分范圍寬、精度高、顯示清晰、測量迅速、性能穩(wěn)定、指標(biāo)可靠,而且體積小、重量輕,可隨身攜帶在現(xiàn)場快速檢測,使用簡單方便。是化工行業(yè)檢測其產(chǎn)品水分的理想儀器。  
主要特點(diǎn)  
1、引進(jìn)*傳感器,進(jìn)口芯片。  
2、*的傳感器設(shè)計(jì)及制作方法有出一般的穿透能力。  
3、專有的傳感器技術(shù)較寬的工作范圍,可插入測量,快速顯示。  
4、性能穩(wěn)定、品質(zhì)優(yōu)良。  
5、便攜式儀表外殼為專有設(shè)計(jì)。  
6、儀表設(shè)計(jì)精巧、結(jié)構(gòu)緊湊。  

技術(shù)性能  

1、測量水分范圍:0~80%   
2、使用環(huán)境:-5℃~+50℃   
3、精 度: 0%~1% 精度:±0.01% ;  
1%~5% 精度:±0.1% ;  
5%~20% 精度:±0.5% ;   
20%~40% 精度:±1% ;  
40%~80% 精度:±2%  

4、響應(yīng)時間:1秒   
5、顯 示:3½位LCD液晶數(shù)字顯示  
6、探針長度:200mm   
7、電源:9V(6F22型)積層電池一節(jié)   
8、體 積:160×60×27(mm)  
9、重 量:200克  


有1和2兩個檔位,1檔測量范圍是  
0%~1%,2檔1%以上  

選型:C1 測固體  
C2 測液體 

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